高性能SIMS型四重極質量分析計
終点検出装置 EPD700 End Point Monitor
PFEIFFER_VACUUM

Overview

■エンドポイントディテクターEPD700は、エッチングまたはイオンミリング、その他スパッタプロセス中の二次イオンをオンラインでモニターし、プロセスの改善に必要なデーターの取得や、ジャストエッジでの停止を目的として設計されています。

EPD700 ・中性ピームストッパー付き3段レンズ(SIMS)型イオン光学系
・標準で0-150eVのエネルギー範囲を分析。
  (オプションで最大350eVまで対応可能)
・高感度90度デフレクション型ディスクリートSEM実装
  (ユーザー交換可能)
・低ノイズ・ワイドダイナミックレンジ(0.1~5x106cps)
・最大測定質量数は512, 1024, 2048amuから選択
・測定質量数は最大128ch
・プロセスに影響を与えない浮動型オリフィス付きフード
  (外部電圧印可可能)
・フィールドアクシステクノロジーと、8mm径の高精度
   モリブデン製四重極ロッドにより、高安定・高精度・高通過率
   を実現
・伯東イオンビームミリング装置との連係機能
・CE、RoHS対応

本装置は、イオン移動光学系としてSIMSで定評のある中性ビームストッパー付き3段型イオンレンズを前段に、8o径高精度モリブデンロッドの四重極、後段にイオンカウンターを備えた90度偏向二次電子増倍型検出器(SEM)を設置したハイエンドパーツの組み合わせで構成されています。
四重極と検出器を動作させるためにはE-3Pa以下の真空度が必要なため、標準でオリフィスとターボ分子ポンプによる差動排気系との組み合わせで提供されます。

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