高感度残留ガス分析計
四重極質量分析装置 PrismaPlus® QMG220
PFEIFFER_VACUUM

Overview

■高感度、優れた安定性、そしてインテリジェントな操作をプラスした四重極質量分析計が、ガス分析へ革新をもたらします。
■モジュラーデザインにより、産業、環境分析をはじめ研究開発、半導体製造、そしてコーティング技術に至る様々なアプリケーションに対応。
■残留ガス分析から、品質保証そして定量分析まで、PrismaPlus®は理想的なソリューションを提供します。

プリズマQMS200  ・最大測定質量数:100, 200, 300amuから用途に応じて選択
 ・2msからの高速測定(クラス最高)
 ・ワイドダイナミックレンジ
   (オプションのチャンネルトロン検出器により約8桁)
 ・4種類以上のイオンソースなど豊富なオプション
 ・測定質量数は最大128ch
 ・検出器にチャンネルトロン型二次電子増倍管を選択可能
 ・新設計のユーザーフレンドリーな測定・制御用の
   GUIソフトウエア 「Quadera
®」標準添付
 ・Ethernetによる汎用的な接続(IP固定・DHCP可)
 ・L型(90°)コントローラの選択により省スペースで設置可能
 ・Microsoft社 Visual Studio Tools for Applicationsに
   よるオリジナル測定プログラムの作成がオプションで可能
 ・汎用OPC通信によるデータ転送プロトコル採用
 ・オプションのI/Oモジュールで真空計の直接接続が可能
 ・CE、RoHS対応

■高感度で優れた安定性をもたらすテクノロジー

バイアスされたイオン化室 フィールドアクシス技術
Biasd Field Axis
イオン化室がプラスにバイアスされており、チャンバー壁面や分析計部品の表面から発生する不要なEIDの影響が防止できるため、バックグラウンドノイズがより低く抑制されています。
(EID:電子衝撃により脱離して生成されるイオン)
イオン化室で生成された測定対象ガスのイオンを、マスフィルター内へ加速して導入することにより、マスフィルター先端部の電場の乱れによる影響を防止して高透過率を実現。さらにフィールドアクシス技術により、マスフィルター内でのイオンを十分減速させて感度および隣接ピーク寄与率を向上させます。

■豊富なモジュール(オプション)

イオンソースの選択・検出器の選択 I/Oポートの有無・VSTAの有無
IS,Detector IO,Gauge
多様な選択肢から用途に適した質量範囲・イオンソース・
フィラメント材質・検出器・最大ベーキング温度を選択可能。
オプションのI/Oポートの増設によりPfeifferVacuum社真空計の直接接続が可能。
Quaderaソフトウェアで圧力表示、記録、エクスポート。
温度情報等も電圧として取り込み・計算・同時記録。
OP-IS GT-IS PKR361 PBR260
オープン型(標準)
イオンソース

高感度RGA・リークチェック
(イオン化電圧可変型有)
ガスタイト型
イオンソース

ガス純度・混合ガスの定量分析
触媒等の導入ガス連続測定分析
真空計オプション
CCフルレンジ型
(PKR361等)
真空計オプション
BA型フルレンジ型
(PBR260)
*要追加電源
CB-IS GR-IS VSTA
クロスビーム型
イオンソース

プラズマ・Kセルからの分子線、脱離・発生ガス連続分析
  グリッド型
イオンソース

低ガス放出タイプ
UHV(超高真空)分析
シーケンスオプション
Microsoft社Visual Studio Tools for Applications(VSTA)による
独自アプリケーションの開発

■Quadera®ソフトウェア

多彩な基本測定機能
Analog Scan MID Scan
アナログスキャン測定
横軸を質量(M/E)、縦軸を電流(A)表示の基本的な測定機能。
チャンバー内の残留成分や質量分析計の動作状態を確認出来ます。オンラインモニターにはピークサーチ記録が可能なバーグラフスキャン測定もしくは右記のMID測定を使用します。
MID(マルチイオン)測定
横軸を時間(Time)、縦軸を電流(A)表示にした測定。イオン化係数を考慮しない素の電流値です。
測定チャンネル数は最大128ch。
最小測定速度は2ms(QMG220)、0.125ms(QMG700)。
Analog Scan MCD Scan
マルチイオン分圧測定(校正画面)
測定対象の粒子(分子・原子)はイオン化係数が個々に異なるため、分圧測定には適切な校正係数を使用し、校正する必要があります。
(本校正後、MID測定画面にて分圧表示が可能となります。)
MCD(マルチイオン)濃度測定
横軸を時間(Time)、縦軸を濃度(%,ppm,ppb)にした測定。
校正にはマトリクス計算を行い、ピークが重なる測定にも対応。既知の濃度構成ガスで校正することで、より精度の高い測定が可能です。(上段:MIDグラフ、下段:MCDグラフ)

■その他の用途(オプション)

- 耐腐食性モリブデンワイヤーによるによるMBE等の分析
- フラグメント抑制を可能とする、電子エネルギー可変型イオンソースによる有機ガス成分分析
- 各種差動排気ユニットとの組み合わせによるプロセスガスモニター

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