ファイファーバキューム社 高感度残留ガス分析計
四重極質量分析装置 PrismaPro® QMG250
PFEIFFER_VACUUM
Overview

■高感度・高安定性・スマートな操作性を兼ね備えたファイファーバキューム社(ドイツ)製 PrismaPro®は、質量分析に最適なソリューションを提供します。
■産業・環境分析・研究開発・半導体生産・コーティング技術等、広範囲な分野に対応します。
■品質保証・リーク検出や複雑な定量分析タスクまで、幅広いアプリケーションに最適なソリューションです。

プリズマQMG250
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<主な特徴>
■ モジュラーデザイン
   ・1~100,200,300amuの測定レンジ
   ・4種類のイオンソースと2種類のフィラメント材質
   ・Faraday専用、電子増倍管/Faraday切替型検出器
   ・拡張I/Oポート
   ・90度省スペースタイプコントローラー(※1)
■ クラス最高感度・低ノイズ・ワイドダイナミックレンジ
■ 1ms/point(※2)からの高速スキャン
■ PV社独自のテクノロジー
   ・バイアス型イオンソース技術
   ・フィールドアクシス技術
■ 300度ベーキング対応分析管
■ 電子エネルギー(カソード電圧)可変機能
■ 簡易型真空計をビルトイン(※3)
■ アナログ入力、デジタル入出力標準装備
■ PV社製真空計専用コネクタ
   (要拡張I/Oポートオプション)
■ TCP-IP イーサネット高速接続
■ 標準添付ソフトウェア PV MassSpec®
   ・濃度測定・分圧測定機能
   ・自動校正・自動チューニング機能
   ・トリガースタート・ストップ機能
   ・条件分岐付きレシピ実行機能
   ・簡易リーク測定・真空診断機能
   ・測定値・真空度・入力値を自由にリアルタイム計算
■ オープンプログラミングインターフェイス
■ Webブラウザ測定機能(Chrome, FireFox対応)
     (※1)リリース予定、 (※2)Dwell Time、(※3)一部非対応

■高感度で優れた測定性能をもたらすテクノロジー
バイアスされたイオン化室 フィールドアクシス技術
Bias Field Axis
バイアスされたイオン化室により、極めて低いバックグラウンド信号を実現します。 電子放射用のフィラメントが、グラウンドに対してプラスにバイアスされる設計により、 チャンバー壁面からの気体粒子の脱離を防ぎ、 電子衝撃脱離による不要なバックグラウンド信号の生成を防ぎます。
質量分析計で重要な要素の一つは、イオンソースからマスフィルターへのイオンの引き込みです。 フィールドアクシス技術により、イオンが大きな相互作用を受けることなくマスフィルターへの入り口を通過できます。 この方式によりプレフィルターやポストフィルターが不要で高い感度(A/Pa)を実現できます。

■豊富なオプション
測定質量範囲・検出器・イオンソースの選択 I/Oポートの選択
IS,Detector IO,Gauge
多様な選択肢から用途に適した質量範囲・検出器・
イオンソース・フィラメント材質を選択可能。
オプションの拡張I/Oポートの選択により
PfeifferVacuum社製真空計の直接接続が可能。
ソフトウェアで表示、記録、エクスポート。
温度情報等も電圧として取り込み・計算・同時記録。
OP-IS GT-IS PKR361 PBR260
オープン(開放)型
イオンソース

残留ガス分析・
リークチェック
(写真は別機種)
ガスタイト(密閉)型
イオンソース

直接導入ガス分析
(リリース予定、写真は別機種)
真空計オプション
ピラニー・CCゲージ搭載
フルレンジ型
(PKR361等)
真空計オプション
ピラニー・BAゲージ搭載
フルレンジ型
(PBR260)
CB-IS GR-IS JSON
クロスビーム型
イオンソース

分子線・脱離ガス分析
(写真は別機種)
グリッド型
イオンソース

UHV(超高真空)分析
(写真は別機種)

オープンプログラミング
JAVAベースのネイティブインターフェイスによる、
専用アプリケーションの開発

■PV MassSpec®ソフトウェア
多彩な測定機能
Analog Scan Vacuum Diagnotics
質量スキャン測定(Scan測定)
・横軸を質量(M/E)、縦軸をイオン電流(A)とした基本的な測定
   -特定の質量を選択して、トレンドグラフを同時表示
   -内蔵スペクトルライブラリとのマッチング機能
   -高速測定に適したバーグラフ測定に対応
マルチイオントレンド測定(Bin測定・MCD測定)
・横軸を時間、縦軸をイオン電流/分圧/濃度のトレンド測定
   -RPN記述方式による高度な内部計算機能
   -一般的な関数の使用から、高度な微分・積分演算まで
   -ピークが重なる濃度測定に対応
   -理論値・既知の濃度構成ガスで校正した高精度の測定
PrismaPro_MCD PrismaPro WebUI
真空診断測定(Vacuum Diagnotics)
・横軸を時間(Time)、縦軸を電流(A)表示にした測定
   -チャンバー内の残留成分の自動特定
   -真空の品質確認に最適
Webユーザーインターフェイス測定・ハードウェア診断
PCはもとより、タブレットやスマホからもフィラメントや増倍管の操作、基本的な測定やリーク検査、装置の動作状態を確認出来ます。 (Google Chrome・FireFoxに対応)

■各種真空排気ユニットとの組み合わせによるプロセスガスモニター構成が可能
・測定ガスの濃度・種類に応じた差動排気システム構成については別途ご相談ください。

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