Buckley Systems社が作るチャンバー

Buckley Systems社はこれまで様々なサイズ、材質、構成(デザイン)の真空チャンバーを数多く製造し、半導体、医療、研究、産業など様々な分野で使用されてきました。
材質を問わず高い信頼性を持つ真空チャンバーの製造には細心の注意が必要になります。
設計から始まり、製造プロセス全体の全てのステップにおいて物理的なリーク(漏れ)、設計上の仮想的なリーク、チャンバーのコンタミを最小限に抑える為には最高レベルの気配りが必要になります。
Buckley Systems社のチャンバー製造に携わるスタッフは、汚染を最小限に抑えるために必要な洗浄、取り扱い、保護手順の訓練を受けています。

Buckley Systems社はUHVおよびVHV真空チャンバーを製造しています。アルミニウム真空チャンバーは、固体のアルミブロックから削り出しで機械加工されるか、最終仕上げ加工の前に摩擦攪拌溶接(FSW‗Friction Stir Welding)を使用して製造され、漏れのない(Leak free)接合を実現します。

CF、ISO、QFなどの業界標準のフランジとシールは、お客様のシステムに合わせて供給または製造できます。
Buckley Systems社の物理設計チームとエンジニアリング設計チームは、お客様が必要とする真空を実現するためのアドバイスと支援を行うことが可能です。

◆納入実績例
【半導体分野】
　・イオン注入装置
　・フラットパネルディスプレイ(FPD)
【医療分野】
　・ラジオアイソトープ(RI) 製造
　・陽子線加速器(放射線治療装置)
【その他】
　・イオン源
　・蒸着装置

高難易度のチャンバー製作を可能にする充実した設備

Buckley systems社は真空チャンバーの製造において様々な専門知識と経験、技術を持ち、様々な技法・加工方法を駆使して高精度のチャンバーを製造しています。

◆所有設備

・18,000m2の広大なマシンショップスペース
・34台の高精度CNCマシンを所有
・最大加工可能サイズ
　　1935MM (H) X 6000MM (L) X 3800MM (W)
・加工装置のマルチパレット化(生産効率の最大化)
・5軸加工機
・7軸 ミルターン旋盤機
・摩擦攪拌溶接機(FSW‗Friction Stir Welding)
・MIG & TIG 溶接機
・ロボット溶接
・ガントリークレーン 10t用
・ストラドルクレーン 20t用

ユニークな技術：摩擦攪拌溶接機(FSW‗Friction Stir Welding)

Buckley systems社は摩擦攪拌溶接という珍しい設備と技術と持っております。
摩擦攪拌接合は、回転するツールを金属材料に押し当てて、摩擦熱で軟化させ、接合部周辺を混ぜ合わせる(塑性流動)ことで接合する接合技術です
この技術は通常の溶接技術に比べ熱による歪み・撓みの悪影響が少なく、また異なる材質(異材)や難接合材の接合を可能にします。
一方で接合条件の選定やせ都合ツールの設計には高いノウハウが必要になりますが、Buckley Systems社の物理学専門チームならびにエンジニアリングチームは高精度な加工を実現する為に独自にツールを開発することによって、より高精度、より高難度な加工にも対応することを可能としました。

・特殊形状の摩擦攪拌溶接ツール
・摩擦攪拌溶接パラメータ & ヒートレート
・工具、工具ビット、機械および備品

独自開発のツールやこれまで積み上げてきたノウハウによりBuckley systems社は板厚30mmまで摩擦攪拌接合を行うことが可能です。